Integrerade kretsar är hjärnan i nästan varje modern apparat, från mobiltelefon till bärbar dator till rymdstationen. En integrerad krets, storleken på ett frimärke, kan innehålla mer än en miljard transistorer. Denna extrema miniatyrisering krav temperaturjämnhet hela kiselskivor som kretsar är byggda. Värmeledning (representeras av ett "k") är ett mått på hur lätt ett material leder värme. Det är en kritisk parameter för att bestämma och designar för temperaturjämnhet.
Fakta
Värmeledning är en av många termiska egenskaperna hos materialet kisel. . Andra egenskaper inkluderar specifika värme (0,70 joule per gram grad Kelvin) som bidrar till att avgöra effekt för att höja temperaturen på skivan, kokpunkt (2. 628 grader Kelvin), smältpunkt (1683 K), kritisk temperatur (5. 159 K), termisk diffusivitet (0,9 cm2 per sekund), linjär termisk expansion eller värmeutvidgningskoefficient (2,6 u2022 10-6 C-1), Debye temperatur (640 K) och andra.
Värden
förändringar i värmeledning vid temperaturförändringar. "Du måste hålla önskad temperatur när man använder termisk ledningsförmåga för att bestämma temperatur fördelning över skivan," varnar Michael Klebig, ett Silicon Valley säljare som specialiserat sig på tillämpningen av värmen i halvledarbricka bearbetning. "Fel värmeledningsförmåga innebär att du inte kommer att nå de temperaturjämnhet du behöver och utförandet av de enheter kommer att äventyras. Om det är illa nog, kommer du inte att kunna fortsätta till nästa steg för halvledare bearbetning sekvens. Skivan kommer att vara värdelösa. "
Föroreningar
Det finns två typer av föroreningar i kisel chip tillverkningen. Första är orenheter inneboende i det ursprungliga kisel götet. Den andra typen av förorening är känd som en dopämnen, en förorening avsiktligt införts i tillverkningsprocessen för att ändra de elektriska egenskaperna hos kisel på specifika utsatta områden på en wafer. Eftersom graden av orenheter ökar, värmeledningsförmåga minskar. "Vid utformningen för temperatur enhetlighet, måste du göra justeringar som svar på nedre Konduktivitetsvärdet av dopad kisel, säger Klebig. "Dopad kisel över 100 grader Kelvin har försumbar inverkan på värmeledningsförmågan. "
Expert Insight
Avgöra temperaturjämnhet med hjälp av värmeledningsförmåga och andra termiska egenskaper är en extremt komplicerad uppgift. "Som ett resultat, säger Klebig" ska du använda mest kända metoder vid utformning för temperaturjämnhet, som 3D termisk finita element (FEA) datormodellering. Stora tekniska företag vanligtvis har egna FEM modellering grupperingar. Om du inte gör t har tillgång till en sådan resurs i ditt företag, kontakta en FEA ingenjörsfirma. "
Varning
Var medveten om att värmeledningsförmåga materialegenskaper är olika för kisel i vätskeform. Flytande kisel har tre gånger värmeledningsförmåga fast kisel.